Naura заявляет о прорыве в травлении для 3D DRAM без EUV
Материал подготовлен искусственным интеллектом на основе нескольких источников — ссылки на оригиналы приведены ниже.

Китайская Naura Technology Group заявляет о двухэтапном процессе травления для производства 3D DRAM, что может позволить CXMT обойти санкции на EUV. Компания сообщает о равномерном травлении 64 пар слоёв кремния и кремния-германия. Заявление, опубликованное в журнале IEEE, не было независимо подтверждено.
1 источник
Naura заявляет о прорыве в травлении для 3D DRAM без EUV



